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国林科技近日接受机构调研时表示，半导体专用臭氧清洗设备首台套已于2022年下半年交付于客户使用，公司陆续已送样客户包括半导体清洗设备、薄膜沉积设备头部企业及面板厂等，预计2023年内完成产品验证。
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